罗茨真空泵工作原理

核心部件：泵壳、一对8 字形同步转子、一对同步齿轮、轴承、进出口管路。

两个转子完全对称，由齿轮保证始终保持微小间隙、互不接触，无摩擦、无需内部润滑。

吸气过程

转子旋转，进气侧腔体容积不断变大，密闭空间形成负压，工艺气体从进气口被吸入两转子与泵壳围成的腔室。

气体隔离

转子继续转动，吸入气体被转子与泵壳完全封闭，和进气腔隔绝，气体被锁在腔体内部，不与排气侧互通。

气体输送

转子持续旋转，携带封闭气体绕泵壳向排气口方向转运，腔体容积全程不变，气体不会回流进气端。

排气增压排出

当腔体转到排气口区域，排气侧高压气体瞬间冲入腔体，对内部气体增压；随转子继续转动，气体被挤压从排气口排出，完成一次循环。

两个转子高速交替旋转，循环不间断持续抽气。